東横化学
各種高圧ガスの販売およびプラント建設。半導体製造用各種装置の開発・設計・製造・販売。流体制御用機器の開発・製造・販売。ＰＡ・ＦＡ用ソフトウェアおよびシステムの開
発・販売。
【ＣＭＰ用スラリー供給装置】 ＭＥＧＡｆｌｏｗTMⅢＣ、【縦形減圧ＣＶＤ装置】、【超高真空ＣＶＤ装置】、【ＡＧＶ対応自動エッチング装置】、 【RTP（高速枚葉熱
処理装置）】 、【自動エッチン
グ装置】、【シリンダーキャビネット】、漏液センサ 東横化学製】 ＲＳ－１０００シリーズ、【液検知センサ 東横化学製】 ＴＫシリー
ズ、【ハイメガソニック洗浄／サンバースト・ターボ洗浄機 ＶＥＲＴＥＱ社製】、【リンサードライヤー トップローディング方式 ＶＥＲＴＥＱ社製】 ＳＲＤシリーズ、
【リンサードライヤー フロントローディング方式 ＶＥＲＴＥＱ社製】１８００／１６００シリーズ、【高
純度用精密圧力調整器 ＡＰ Ｔｅｃｈ社製】
、【ＭＣＧ継手 東横化学製】メタルＣリング継手、【ＦＩＸ，ＦＩＸ ＭＭＩ インテルーション社製】、【ＦＩＸ－ＷＨＩＺＫＩＤ 東横化学製】
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