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半導体製造装置,検査装置の設計・製作電子部品の製造装置および関連装置の設計・製作・販売理化学機器,情報機器の設計・製作・販売高真空,超高真空装置の設計・製作高真空,超高真空内搬送機構ならびに精密移動ステージの設計・製作装置用各種機器,ユニット,部品の製作・販売
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